功能碳薄膜化学键成分的椭偏光谱研究

功能材料, 2003, 34(5): 582-584.

功能碳薄膜化学键成分的椭偏光谱研究

莫党 ^1, , 李芳 ^2, , 陈第虎 ^3, , 郭扬铭 ^4, , 魏爱香 ^5,

1.中山大学,理工学院光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275

2.中山大学,理工学院光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275

3.中山大学,理工学院光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275

4.中山大学,理工学院光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,离子束重点实验室,上海,200050

5.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,离子束重点实验室,上海,200050;海军广州舰艇学院,广东,广州,510430

基金项目: 广东省科技厅科技计划(2002B11701) 广东省自然科学基金(021696)

关键词：碳薄膜 , 椭偏光谱 , 化学键

Spectroscopic ellipsometry study of the chemical bonds of carbon films

用磁过滤真空离子溅射系统,改变加在单晶Si(100)衬底上的衬底偏压,制备不同sp3C键与sp2C键比例的碳薄膜样品.测量了2.0～5.0eV光子能量范围内各个碳薄膜样品的椭偏光谱.发现该谱与碳薄膜中的sp键比例有明显的关系.我们提出一种较简便的分析解谱方法,分析所测得的各个椭偏光谱,半定量地确定各碳薄膜样品的sp3C键与sp2C键比例.所得结果还与同类样品的拉曼光谱与吸收光谱测量结果相比较,结果基本上是一致的.研究结果表明椭偏光谱方法可以发展成一种较简便的、对样品无损伤的测定功能碳薄膜中的sp3C键成分的新方法.

参考文献

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