微条气体室(MSGC)基板材料的研究

功能材料, 2004, 35(3): 360-362.

微条气体室(MSGC)基板材料的研究

杨莹 ^1, , 夏义本 ^2, , 王林军 ^3, , 张明龙 ^4, , 汪琳 ^5, , 苏青峰 ^6,

1.上海大学,材料科学与工程学院,上海,201800

2.上海大学,材料科学与工程学院,上海,201800

3.上海大学,材料科学与工程学院,上海,201800

4.上海大学,材料科学与工程学院,上海,201800

5.上海大学,材料科学与工程学院,上海,201800

6.上海大学,材料科学与工程学院,上海,201800

基金项目: 国家自然科学基金(60072033)

关键词：微条气体室(MSGC) , 探测器 , 基板 , 金刚石膜/硅复合材料

Research on the substrate materials of micro-strip gas chambers

根据微条气体室(MSGC)探测器的工作原理,分析了MSGC基板的选择依据,同时首次提出采用金刚石膜/硅复合材料作为MSGC基板的可行性.采用热丝辅助化学气相沉积(HFCVD)技术和相关退火工艺获得了金刚石膜/硅复合材料,并采用SEM、Raman光谱仪、微电流仪对复合材料的表面状况、结构、I-V和C-F特性进行了表征.结果表明,该复合材料经抛光后表面平整,退火后电阻率达约2.9×1010Ω·cm,电容值小且随频率变化稳定,均满足MSGC对基板材料的要求.

参考文献

[1]	王林军等.[J].量子电子学报,2002,19:5-6.
[2]	Charpak G et al.[J].Nuclear Physics A,1968,A62:262.
[3]	Oed A .[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,1988,A263:351.
[4]	Blaha B et al.[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,1998,A416:345-350.
[5]	Gong W G et al.[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,1995,A360:30-33.
[6]	Bellazzini R et al.[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,2001,A457:22-42.
[7]	Cicognani G et al.[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,1997,A392:115-119.
[8]	Boimska B et al.[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,1998,A404:57-70.
[9]	Zhang Ming;long et al.[J].Diamond and Related Materials,2003,12(09):1544-1547.
[10]	Mack V et al.[J].Nuclear Physics A,1999,A423:369-375.
[11]	Boimska B et al.[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,1997,A389:9-16.
[12]	张明龙等.[J].核电子学与探测技术,2003,23(03):285-288.
[13]	Bouhali O et al.[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,1996,A378:432.
[14]	Mach V et al.[J].Nuclear Physics A,1995,A367:173-176.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网

微条气体室(MSGC)基板材料的研究

Research on the substrate materials of micro-strip gas chambers

参考文献