气相法制备ZnO纳米阵列研究进展

合成材料老化与应用, 2015, 44(5): 108-110.

气相法制备ZnO纳米阵列研究进展

党威武 ^1, , 张永军 ^2, , 徐秀娟 ^3, , 李燕 ^4,

1.陕西国防工业职业技术学院机械工程学院,陕西西安,710300

2.陕西国防工业职业技术学院机械工程学院,陕西西安,710300

3.陕西国防工业职业技术学院机械工程学院,陕西西安,710300

4.西安交通大学材料科学与工程学院,陕西西安,710049

基金项目: 陕西国防工业职业技术学院2015年科研基金资助项目(Gfy15-01)

关键词： ZnO , 制备 , 纳米阵列

Research Progress of ZnO Nanostructure Arrays Prepared by Vapor Phase Method

Keywords： ZnO , preparation , nanostructure arrays

ZnO作为一种具有优良性质的半导体材料,其纳米结构的制备方法得到广泛研究.气相法制备ZnO纳米阵列具有产物容易阵列及收集方便等特点,就近些年来ZnO纳米阵列的气相制备法研究情况做一总结和归纳,主要有化学气相沉积法、物理气相沉积法、金属有机物化学气相沉积法、化学气相输运法及脉冲激光沉积法等,并对不同实验方法合成的ZnO纳米阵列形貌结构及生长环境进行分析讨论,简单探讨气-液-固和气-固生长机理,为探索简单、方便,产物形貌结构及尺寸大小可控性强的气相制备方法提供依据.

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