利用硅片线锯屑合成氮氧化硅粉体研究

人工晶体学报, 2015, 44(10): 2739-2745.

利用硅片线锯屑合成氮氧化硅粉体研究

尹传强 ^1, , 李兵 ^2, , 魏秀琴 ^3, , 周浪 ^4,

1.南昌大学光伏研究院/材料科学与工程学院,南昌,330031

2.南昌大学光伏研究院/材料科学与工程学院,南昌,330031

3.南昌大学光伏研究院/材料科学与工程学院,南昌,330031

4.南昌大学光伏研究院/材料科学与工程学院,南昌,330031

基金项目: 江西省优势科技创新团队计划专项(20113BCB24007) 有色金属及特色材料加工重点实验室开放基金(12KF-20)

关键词：硅片线锯屑 , 白炭黑 , 氮氧化硅 , 低温亚稳相

Study on Synthesis of Silicon Oxynitride Powders from Wire Saw Dusts of Silicon

Keywords： wire saw dusts of silicon , white carbon black , silicon oxynitride , low-temperature metastable phase

以回收提纯硅片线锯屑粉与气相白炭黑为原料,合成出晶须状氮氧化硅粉体.实验研究了原料摩尔配比、保温温度、保温时间等工艺参数对氮氧化合成产物的影响.结果表明,回收提纯硅片线锯屑粉与气相白炭黑摩尔比为2.0:1 ～2.6:1、保温温度为1380℃、保温时间为4h条件下可获得较为纯净的氮氧化硅粉体.产物中同时伴生一种类似于Ol-SiAlON结构的氮氧化硅低温亚稳相(LM Si2N2O),且该亚稳相含量随着原料摩尔配比的降低、温度的升高、时间的延长逐渐降低.所形成的氮氧化硅呈晶须状的原因与白炭黑的气化挥发及随后的氮氧化硅气相沉积生长机制有关.

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