柔性衬底上AZO薄膜的附着力特性研究

材料导报, 2011, 25(18): 139-141.

柔性衬底上AZO薄膜的附着力特性研究

曹培江 ^1, , 赖国霞 ^2, , 柳文军 ^3, , 贾芳 ^4, , 朱德亮 ^5, , 马晓翠 ^6, , 吕有明 ^7,

1.深圳大学材料学院深圳市传感器技术重点实验室,深圳518060;深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室,深圳518060

2.深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室,深圳518060

3.深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室,深圳518060

4.深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室,深圳518060

5.深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室,深圳518060

6.深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室,深圳518060

7.深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室,深圳518060

基金项目: 国家自然科学基金(60976036) 深圳市科技计划项目(200604;200706;ZYC200903250140A) 深圳市南山区科技研发资金项目(南科院2008012;2009040) 深圳市产学研科技合作项目(08cxy-28) 深圳市传感器技术重点实验室开放基金(SST201003)

关键词： ZnO薄膜 , 脉冲激光沉积 , 附着力

Study on the Adhesion Properties of AZO Thin Films Grown on Flexible Substrates

使用脉冲激光沉积( PLD)方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高c轴择优取向的AZO(ZnO∶Al)薄膜.通过X射线衍射(XRD)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和纳米划痕仪,研究了在不同衬底下生长的薄膜样品的晶体结构、光学性能和附着力.结果表明,两种柔性衬底上生长的AZO薄膜都是单一的ZnO六方相,可见光范围内光学透过率均大于85％；PMMA、PET衬底上AZO薄膜的临界载荷数值分别为31.31mN和16.97mN,PET衬底上ITO薄膜的临界载荷数值为40.55mN.

参考文献

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