四氟化硅的制备与提纯

硅酸盐通报 , 2015, 34(7): 1891-1895.

1.贵州大学化学与化工学院,贵阳,550025

2.贵州大学化学与化工学院,贵阳,550025

3.贵州省产品质量监督检验院,贵阳,550004

4.贵州省产品质量监督检验院,贵阳,550004

5.贵州大学化学与化工学院,贵阳,550025

6.贵州大学化学与化工学院,贵阳,550025

7.中国航天建设集团有限责任公司,北京,100039

基金项目: 国家质检总局科技计划项目(2013QK251) 贵州省科学技术基金项目(黔科合J字[2013]2158号)

Preparation and Purification of Silicon Tetrafluoride

四氟化硅(SiF4)是电子和半导体行业中的一种重要原料,在光伏产业中占重要地位.详细介绍了四氟化硅的主要制备方法:硫酸法、Si-F2直接合成法、氟硅酸盐热解法和氢氟酸法,并对四氟化硅提纯工艺进行了比较.

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