(001)晶体硅金字塔绒面结构圆化有提高光反射率与提高非晶硅薄膜钝化效果的相互矛盾的双重作用,定量了解它们对优化非晶硅/晶体硅异质结太阳电池的绒面结构圆化程度很有必要.本文以表面粗糙度Rz相对下降百分数定量表征晶体硅衬底表面金字塔绒面结构圆化程度DR,研究了DR值对等离子体化学气相沉积氢化本征非晶硅薄膜钝化效果的改善作用,发现除圆化初期效果异常高以外,二者之间基本呈线性正比关系;相对改善作用随钝化膜变薄而显著提高.同时测定了DR值对金字塔绒面光反射率的影响,发现反射率基本随DR值线性增大.典型结果为:6％绒面结构圆化程度下,金字塔绒面的光反射率绝对值提高3％;其表面7 nm厚的氢化本征非晶硅薄膜可达到使硅片少数载流子寿命相对未圆化绒面样品提高260％.
参考文献
| [1] | Edwards M;Bowden S;Das U;Burrows M .Effect of texturing and surface preparation on lifetime and cell performance in heterojunction silicon solar cells[J].Solar Energy Materials and Solar Cells: An International Journal Devoted to Photovoltaic, Photothermal, and Photochemical Solar Energy Conversion,2008(11):1373-1377. |
| [2] | 赵振越,张晓丹,王奉友,姜元建,杜建,高海波,赵颖,刘彩池.硅异质结电池衬底形貌的修饰及其在电池中的应用研究*[J].物理学报,2014(13):136802-1-136802-7. |
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