TiO2-KTaO3复合薄膜制备与湿敏传感性质研究

功能材料, 2007, 38(5): 760-763.

TiO2-KTaO3复合薄膜制备与湿敏传感性质研究

冯庆 ^1, , 王新强 ^2, , 杨晓红 ^3, , 刘高斌 ^4,

1.重庆大学,数理学院,重庆,400044;重庆师范大学,物理系,重庆,400046

2.重庆大学,数理学院,重庆,400044

3.重庆师范大学,物理系,重庆,400046

4.重庆大学,数理学院,重庆,400044

基金项目: 重庆市自然科学基金(CSTC2005BB4244)

关键词：湿度传感器 , 溶胶凝胶法 , 旋涂法 , TiO2 , KTaO3

Study of preparation and humidity-sensing characterization of TiO2-KTaO3 composite thin films

通过溶胶凝胶法和旋涂法制备了单层和双层TiO2-KTaO3薄膜,并在不同的温度下退火1h,研究了该薄膜的湿敏传感特性.通过扫描电镜和X射线衍射研究了薄膜的形态特性,发现该薄膜具有纳米颗粒和毛细多孔结构.环境湿度变化从12%RH～97%RH的变化过程中,在500℃下退火的TiO2/KTaO3薄膜具有很高的灵敏度.对比单层薄膜,双层薄膜显示出有更大的电阻变化范围.还研究了TiO2/KTaO3薄膜的湿敏传感机理.

参考文献

[1]	Ishibashi K;Nosaka Y;Hashimoto K et al.[J].Physical Chemistry B,1998,102:50.
[2]	Regan B O';Graezel M .[J].Nature,1991,352:737.
[3]	Ha N K;Mamoru M;Koinuma H et al.[J].Applied Physics Letters,1996,68:2965.
[4]	Sirghi L;Aoki T;Hatanaka Y et al.[J].THIN SOLID FILMS,2002,422:55.
[5]	Garzella C.;Tempesti E.;Frigeri C.;Sberveglieri G.;Comini E. .TiO2 thin films by a novel sol-gel processing for gas sensor applications[J].Sensors and Actuators, B. Chemical,2000(1/3):189-196.
[6]	Tai W P;kim J G .[J].Journal of Materials Science:Materials in Electronics,2004,15:25.
[7]	Chow L L W;Yuen M M F;Chan P CH .[J].Sensors and Actuators B-Chemical,2001,76:310.
[8]	Kang B C;Lee S B;Boo J H .[J].Surface and Coatings Technology,2000,131:88.
[9]	Wu RJ;Sun YL;Lin CC;Chen HW;Chavali M .Composite of TiO2 nanowires and Nafion as humidity sensor material[J].Sensors and Actuators, B. Chemical,2006(1):198-204.
[10]	Tai WP;Kim JG;Oh JH;Kim YS .Preparation and humidity sensing behaviors of nanostructured potassium tantalate: titania films[J].Sensors and Actuators, B. Chemical,2005(2):199-203.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网

TiO2-KTaO3复合薄膜制备与湿敏传感性质研究

Study of preparation and humidity-sensing characterization of TiO2-KTaO3 composite thin films

参考文献