液相外延生长中的外延层晶体表面会出现波纹,大大降低了晶体的成材率.本文通过实验测量了同-HgCdTe外延薄膜在不同层厚时的红外透射光谱,证明在外延生长后期的相变层中存在分层流,正是分层流中的内波固化造成了外延层晶体表面的波纹.数学模型和量级估计很好地支持了外延生长中的内波成因论,指出固液密度梯度决定的分层流本征频率N、上下液层相对密度比σ对波纹的产生有决定性影响.
参考文献
| [1] | 宁利中,原田义文,八幡英雄.二成分混合流体Rayleigh-Benard对流[J].西安理工大学学报,2004(04):356-360. |
| [2] | M. Ben David;Y. Zimmels;Y. Zvirin .Determination of the quench velocity and rewetting temperature of hot surfaces. part I: analysis solution of the micro-scale hydrodynamic model[J].International Journal of Heat and Mass Transfer,2001(7):1323-1342. |
| [3] | Kimura M;Djilali N;Dost S .Convective Transport and Interface Kinetics in Liquid Phase Epitaxy[J].Journal of Crystal Growth,1994,143:334-348. |
| [4] | 李家春.分层流中的瞬变波[J].力学学报,1983(06):611-622. |
| [5] | Denisov IA.;Lakeenkov VM.;Mazhorova OS.;Popov YP. .Numerical study for liquid phase epitaxy of CdxHg1-xTe solid solution[J].Journal of Crystal Growth,2002(1/2):21-30. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%