制备工艺对P型ZnO薄膜微观结构和电学特性的影响

人工晶体学报, 2008, 37(5): 1237-1272.

1.五邑大学薄膜与纳米材料研究所,江门,529020

2.五邑大学薄膜与纳米材料研究所,江门,529020

3.五邑大学薄膜与纳米材料研究所,江门,529020

4.五邑大学薄膜与纳米材料研究所,江门,529020

5.五邑大学数理系,江门,529020

6.五邑大学信息学院,江门,529020

7.五邑大学信息学院,江门,529020

8.五邑大学机电系,江门,529020

9.五邑大学信息学院,江门,529020

基金项目: 广东省自然科学基金(04011770) 广东省江门市科技攻关项目(江财企[2004]59号)

Influences of Preparation Techniques on the Microstructure and Electric Characteristics of p-ZnO Thin Films

本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的P型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究.研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均与制备工艺条件有密切的关系.文章对这些关系的机理做了探讨和分析.

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