用氮离子束分别原位溅射Ｔｉ和石墨靶的方法制备了ＣＮｘ／ＴｉＮｙ多层膜. 用Ｘ射线光电子谱分析ＣＮｘ层中Ｃ和Ｎ的键合状态, 用透射电镜观察薄膜中的相形貌, 用电子衍射和Ｘ射线衍射的方法分析相的结构. 结果表明, ＣＮｘ层中主要有Ｎ－ｓｐ＾２Ｃ和Ｎ－ｓｐ＾３Ｃ两种键合状态, 薄膜中观察到的Ｃ－Ｎ化合物尺寸为１０－６０ｎｍ的晶体颗粒, 其衍射数据可用立方Ｃ３Ｎ４结构标定, 证实了该薄膜中存在立方Ｃ３Ｎ４化合物.
参考文献
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