用电子显微镜研究了压痕诱发砷化镓单晶中的塑性变形。结果表明，在压痕周围除了产生玫瑰型分布的位错组态和二次对称的孪晶结构外，还形成了层错。层错有两种类型：一种由两个具有不同Burgers矢量的不全位错组成，另一种则由具有相同Burgers矢量的不全位错组成。
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