靶面化合物覆盖度的计算方法研究

1.广西工学院,广西,柳州,545006

2.华中科技大学,湖北,武汉,430074

3.华中科技大学,湖北,武汉,430074

4.华中科技大学,湖北,武汉,430074

基金项目: 国家自然科学基金(19874022)

Calculation Method for the Compound Fraction of Target Surface

由溅射速率方程和反应粒子输运方程得出了靶面化合物的覆盖度.所有方程都用反应室结构参数和宏观参数表示.文中还给出了溅射淀积TiN薄膜的计算结果,结果表明与实验数相吻合.所建立的方法便于工艺优化的实施,属新的工程方法.

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