VO2/FTO复合薄膜的制备及其光电特性研究

稀有金属, 2016, 45(6): 1593-1599.

VO2/FTO复合薄膜的制备及其光电特性研究

郑鸿柱 ^1, , 李毅 ^2, , 陈少娟 ^3, , 陈建坤 ^4, , 袁文瑞 ^5, , 孙瑶 ^6, , 唐佳茵 ^7, , 刘飞 ^8, , 郝如龙 ^9,

1.上海理工大学,上海,200093

2.上海理工大学,上海 200093;上海市现代光学系统重点实验室,上海 200093

3.上海理工大学,上海,200093

4.上海理工大学,上海,200093

5.上海理工大学,上海,200093

6.上海理工大学,上海,200093

7.上海理工大学,上海,200093

8.上海理工大学,上海,200093

9.上海理工大学,上海,200093

基金项目: 上海市领军人才计划资助课题和区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室项目教育部科学技术研究重点项目(207033) 国家“863”计划(2006AA03Z348) 上海市科学技术委员会科技攻关计划(06DZ11415)上海市教育委员会科技创新重点项目(10ZZ94)

关键词： VO2 , FTO , 氮氧混合 , 热致变色 , 光电特性

Preparation and Optical-Electrical Properties of VO2/FTO Composite Films

Keywords： VO2 , FTO , N2-O2 mixture , thermochromics , optical-electrical properties

采用直流磁控溅射法在掺氟的SnO2 (FTO)导电玻璃衬底上沉积纯钒金属薄膜,再在常压氮氧混合气氛中退火制备VO2/FTO复合热致变色薄膜,并对复合薄膜的结构、光学特性以及电学特性进行了测试分析.结果表明,薄膜结晶程度较高,表面平滑致密,具有很好的一致性,导电玻璃上的FTO并没有改变VO2择优取向生长,但明显改变了VO2薄膜的表面形貌特征.与VO2薄膜的典型相变温度68℃相比,VO2/FTO复合薄膜的相变温度降低约20℃,热滞回线收窄到5℃,相变前后的红外透过率分别为45％和22％,相变前后电阻率的变化达3个数量级,VO2/FTO复合薄膜优良的光电特性对新型光电薄膜器件的设计开发和应用具有重要意义.

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