液相等离子体电沉积制备类金刚石薄膜

电镀与涂饰 , 2013, 32(10): 1-4.

液相等离子体电沉积制备类金刚石薄膜

李巧梅 ^1, , 罗北平 ^2, , 黄锋 ^3, , 许友 ^4, , 余红霞 ^5, , 武鹄 ^6,

1.湖南理工学院化学化工学院,湖南岳阳414006;湘潭大学化工学院,湖南湘潭411105

2.湖南理工学院化学化工学院,湖南岳阳414006

3.湖南理工学院化学化工学院,湖南岳阳414006;湘潭大学化工学院,湖南湘潭411105

4.湖南理工学院化学化工学院,湖南岳阳414006

5.湖南理工学院化学化工学院,湖南岳阳414006

6.湖南理工学院化学化工学院,湖南岳阳414006

基金项目: 岳市科发(2011)22号湖南省科技计划项目(2011GK3165) 湖南省自然科学基金重点项目(11JJ2028)

关键词：类金刚石薄膜 , 等离子体电沉积 , 电流密度 , 极间距

Preparation of diamond-like carbon thin film by liquid plasma electrodeposition

LI Qiao-mei ^1, ,

1.湖南理工学院化学化工学院,湖南岳阳414006;湘潭大学化工学院,湖南湘潭411105

Keywords： diamond-like carbon , plasma electrodeposition , current density , electrode spacing

采用等离子体电沉积法在水-乙醇电解液中制备了类金刚石(DLC)薄膜,工艺条件为:乙醇和水的体积比4∶1,KCl3 g/L,电流密度500 ～ 800mA/cm2,电压1 500V,时间4h.研究了电流密度和电极间距对DLC薄膜的显微硬度、厚度和表面形貌的影响.结果表明,电流密度和电极间距都对电极表面气泡区域厚度、均匀程度、稳定性及电极表面电荷密度有较大影响,适宜的电流密度和电极间距分别为600～700mA/cm2和6～10mm.采用较佳工艺制得的DLC膜表面平整均匀,为多晶结构,摩擦因数约为0.13.

参考文献

[1]	ASMUSSEN J;REINHARD D K.Diamond Films Handbook[M].New York:Marcel Dekker,Inc,2002
[2]	M.Hakovirta;R.Verda;X.M.He;M.Nastasi .Heat resistance of fluorinated diamond-like carbon films[J].Diamond and Related Materials,2001(8):1486-1490.
[3]	李刘合.阴极弧离子镀磁过滤器[J].真空,1999(03):14.
[4]	杜开瑛,石瑞英,谢茂浓,廖伟,张敏.直接光CVD类金刚石碳膜的初期成膜结构[J].半导体光电,1999(06):405-408.
[5]	C. Corbella;M. Vives;G. Oncins .Characterization of DLC films obtained at room temperature by pulsed-dc PECVD[J].Diamond and Related Materials,2004(4/8):1494-1499.
[6]	黄桂芳,周灵平,李绍禄,李德意,赵立华,王巧玲.类金刚石（DLC）膜对2Crl3不锈钢耐蚀性能的影响[J].表面技术,2002(01):9-11.
[7]	黄桂芳,周灵平,朱启良.离子束沉积类金刚石膜对钢在NaCl溶液中耐蚀性能的影响[J].材料保护,2000(06):35.
[8]	NAMBA Y .Attempt to grow diamond phase carbon films from an organic solution[J].Journal of Vacuum Science and Technology A:Vacuum Surfaces and Films,1992,10(05):3368-3370.
[9]	FU Q;JIU J T;WANG H et al.Simultaneous formation of diamond-like carbon and carbon nitride films in the electrodeposition of an organic liquid[J].Chemical Physics Letters,1999,301(1/2):87-90.
[10]	V. P. Novikov;V. P. Dymont .Synthesis of diamondlike films by an electrochemical method at atmospheric pressure and low temperature[J].Applied physics letters,1997(1/4):200-202.
[11]	Li JJ;Gu CZ;Peng HY;Wu HH;Zheng WT;Jin ZS .Field emission properties of diamond-like carbon films annealed at different temperatures[J].Applied Surface Science: A Journal Devoted to the Properties of Interfaces in Relation to the Synthesis and Behaviour of Materials,2005(1/4):236-241.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网