采用低氟溶胶-凝胶法在LaAlO3 (100)基板上制备了VBa2Cu3O7-x (YBCO)薄膜,研究了在725℃热处理过程中,氧含量对最终所得vBCO薄膜临界电流密度Jc的影响.研究发现,热处理过程中氧气含量在100~1700 μL/L范围变化时,所获得的YBCO薄膜均具有良好的双轴织构特征.然而,当氧气含量为100或200μL/L时,由于YBCO薄膜致密性差,不能获得高Jc的YBCO薄膜.随着氧气含量的增大,YBCO薄膜表面逐渐变得致密.当氧气含量增加到300μL/L时,YBCO薄膜表面较致密,Jc达到4.3 MA/cm2.继续增大氧含量至800和 1700μtL/L,薄膜表面逐渐出现富铜第二相颗粒,成为其Jc较低的主要原因.
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