采用紫外光刻电铸技术的微型腔注塑成型

高分子材料科学与工程, 2013, 29(6): 169-172.

采用紫外光刻电铸技术的微型腔注塑成型

徐斌 ^1, , 王敏杰 ^2, , 于同敏 ^3, , 赵丹阳 ^4,

1.西南科技大学制造过程测试技术教育部重点实验室,四川绵阳621010

2.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连116024

3.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连116024

4.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连116024

基金项目: 教育部制造过程测试技术重点实验室开放基金(12zxzk07) 校博士基金(10zx7143) "十一五"国家科技支撑计划重点项目(2006BAF04B13)

关键词：微注塑成型 , 细胞皿 , 紫外光刻电铸 , 成型工艺

Micro-Cavity Injection Molding Based on Ultraviolet Lithography Galvanoformung and Abformung Technology

Bin Xu ^1, , Minjie Wang ^2, , Tongmin Yu ^3, , Danyang Zhao ^4,

1.西南科技大学制造过程测试技术教育部重点实验室,四川绵阳621010

2.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连116024

3.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连116024

4.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连116024

Keywords： micro injection molding , cell container , ultraviolet lithography galvanoformung and abformung , molding process

针对复杂微型腔制作的难点,基于紫外光刻电铸(UV-LIGA)技术和掩膜腐蚀的方法加工了细胞皿微型腔.以聚丙烯(PP)进行单因素充模流动工艺试验,通过极差分析,研究了注射速率、模具温度、熔体温度、保压压力和保压时间对微制品成型质量的影响规律.注射速率对提高充填率起主要作用,模具温度和熔体温度是次要因素,而保压压力和保压时间相对其它因素对充填质量影响较差,但必须保持在一个较高的水平.在获取优化工艺参数后,获得合格的制品.因此基于UV-LIGA技术和掩膜腐蚀的方法制作复杂结构微型腔对于微注塑成型是可行的.

参考文献

[1]	Y.K. Shen;W.Y. Wu .An analysis of the three-dimensional micro-injection molding[J].International Communications in Heat and Mass Transfer,2002(3):423-431.
[2]	J.Zhao;R.H.Mayes;GE Chem;Hong Xie;Poh Sing Chan .Effects of Process Parameters on the Micro Molding Process[J].Polymer engineering and science,2003(9):1542-1554.
[3]	庄俭,吴大鸣,赵中里,张洪波.微注射成型工艺的实验研究[J].化工学报,2009(04):1040-1045.
[4]	Bong-Kee Lee;Tai Hun Kwon .Fabrication method of two-level polymeric microstructure with the help of deep X-ray lithography[J].Microsystem technologies,2008(9/11):1739-1744.
[5]	徐斌,王敏杰,于同敏,徐华.细胞皿微型塑件注射成型工艺[J].化工学报,2010(11):2999-3005.
[6]	徐斌,王敏杰,卢玉斌,薛松,李光明.抽真空对微型塑件成型质量影响[J].材料科学与工艺,2011(04):20-23.
[7]	祝铁丽 .注塑成型制品收缩率预测理论与方法的研究[D].大连理工大学,2002.

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