多个Josephson结性能测试系统与实验验证

低温物理学报 , 2014, 36(2): 122-125.

多个Josephson结性能测试系统与实验验证

陈桦 ^1, , 张国峰 ^2, , 邱阳 ^3, , 徐小峰 ^4, , 王永良 ^5, , 孔祥燕 ^6,

1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050;中国科学院大学,北京,100039

2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050

3.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050;中国科学院大学,北京,100039

4.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050

5.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050

6.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050

基金项目: 中国科学院战略性先导科技专项(B类))(批准号:XDB04010100)资助的课题.Project supported by the "Strategic Priority Research Program(B)" of the Chinese Academy of Sciences(Grant XDB04010100)

关键词：超导量子干涉器件 , 约瑟夫森结 , 测试电路 , 多通道

FOR MULTI-JOSEPHSON JUNCTIONS AND SQUID

Hua CHEN ^1, , Guofeng ZHANG ^2, , Yang QIU ^3, , Xiaofeng XU ^4, , Yongliang WANG ^5, , Xiangyan KONG ^6,

1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050;中国科学院大学,北京,100039

2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050

3.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050;中国科学院大学,北京,100039

4.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050

5.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050

6.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050

Keywords： SQUID , Josephson junction , test circuit , multi-channel

在器件制备过程中,超导量子干涉器件(SQUID)和Josephson结的性能测试是非常重要是一个环节.设计一个合理高效的测试方法对于提高测试效率及可靠性非常必要.本文采用多路复用技术,设计了8通道测试电路,减小了电路面积及所需测试箱体积,降低了液氦使用成本并极大提高了测试一致性.本文对测试箱、器件放置及测试杆连接等进行了设计,成功搭建了一套多个Josephson结测试的系统,并根据常温验证的测试结果对电路进行了优化处理.最后,对多个结进行低温测试验证了该测试系统的可行性与优越性.

参考文献

[1]	陈林,李敬东,唐跃进,任丽.超导量子干涉仪发展和应用现状[J].低温物理学报,2005(z1):657-661.

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