为了提高钢领表面耐磨性,采用中频非平衡磁控溅射法在经热处理的GCr15钢领上制备了类金刚石(DLC)薄膜,并对不同磁控溅射功率、负偏压下制备的DLC薄膜进行了组织结构分析和摩擦磨损性能测试.结果表明:随着溅射功率、负偏压增加,DLC薄膜的Raman谱G峰位置和ID/IG值均整体上呈增加趋势,sp3键含量减少,石墨化程度增加;负偏压恒定为100 V时功率为8 kW以及功率恒定为5 kW时负偏压120 V,制备的DLC薄膜具有较小的摩擦系数和稳定的抗磨损性能.
参考文献
| [1] | 杨玉卫,杨坚,古宏伟,刘慧舟,张华,金薇.类金刚石膜的性能、制备及其应用[J].硅酸盐通报,2008(01):119-126. |
| [2] | 李庆生.DLC表面涂覆在模具中的应用[J].模具工业,2010(04):74-76. |
| [3] | Voevodin AA.;Laube SJP.;Donley MS.;Zabinski JS.;Capano MA. .DESIGN OF A TI/TIC/DLC FUNCTIONALLY GRADIENT COATING BASED ON STUDIES OF STRUCTURAL TRANSITIONS IN TI-C THIN FILMS[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,1997(1/2):107-115. |
| [4] | Wang P;Wang X .Comparing internal stress in diamondlike carbon films with different structure[J].THIN SOLID FILMS,2007,515:6899-6903. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%