反应溅射WS2/MoS2/C复合薄膜的摩擦磨损性能

中国有色金属学报, 2010, 20(3): 483-487.

反应溅射WS2/MoS2/C复合薄膜的摩擦磨损性能

周磊 ^1, , 尹桂林 ^2, , 王玉东 ^3, , 余震 ^4, , 何丹农 ^5,

1.上海交通大学,材料科学与工程学院,上海,200240

2.上海交通大学,纳米技术及应用国家工程研究中心,上海,200241

3.上海交通大学,材料科学与工程学院,上海,200240

4.上海交通大学,材料科学与工程学院,上海,200240

5.上海交通大学,材料科学与工程学院,上海,200240;上海交通大学,纳米技术及应用国家工程研究中心,上海,200241

基金项目: 国家自然科学基金(50675131)

关键词： WS2 , MoS2 , C , 摩擦性能 , 磨损性能

Tribological and wear properties of reaction-sputtered WS2/MoS2/C composite films

为了扩展在潮湿条件下WS2/MoS2复合薄膜的应用,使用WS2/MoS2作靶材,在Ar/C2H2气氛中通过反应溅射法制备WS2/MoS2/C复合薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、X射线能谱仪(EDX)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、MFT-4000材料表面性能试验仪表征薄膜的性能以便评价薄膜的微结构与摩擦性能的关系.结果表明:与纯MoS2薄膜相比,WS2/MoS2/C复合薄膜结构致密,硬度提高一个数量级;在潮湿的大气中复合薄膜的摩擦因数更低,抗磨损能力更强.

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Tribological and wear properties of reaction-sputtered WS2/MoS2/C composite films

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