可调半波长超导共面波导谐振器

低温物理学报 , 2015, 37(6): 477-480.

可调半波长超导共面波导谐振器

钟先茜 ^1, , 翟计全 ^2, , 周渝 ^3, , 汪橙 ^4, , 曹志敏 ^5, , 范云益 ^6, , 潘佳政 ^7, , 李永超 ^8, , 许伟伟 ^9,

1.南京大学电子科学与工程学院超导电子学研究所,南京,210093

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3.南京大学电子科学与工程学院超导电子学研究所,南京,210093

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基金项目: 国家自然科学基金面上项目(批准号:11474154),江苏省杰出青年基金(批准号:BK2012013),江苏高校优势学科建设工程资助项目,中央高校基本科研业务费专项资金资助的课题.

关键词：共面波导谐振器 , 可调谐振器 , 超导量子比特 , 电感

TUNABLE HALF-WAVELENGTH SUPERCONDUCTING COPLANAR WAVEGUIDE RESONATOR

Keywords： Coplanar waveguide resonator , tunable resonator , superconducting quantum bit , inductance

和传统的共面波导谐振腔相比,超导共面波导谐振器(SCPWR)具有低损耗、高Q值等优势,可以方便地与超导量子比特相互耦合.通过在谐振器的中心导体中嵌入一系列的dc-SQUID,可以实现谐振器谐振频率的连续可调.我们利用深紫外曝光和电子束蒸发相结合的微加工工艺,制备了分别嵌入1个和3个dc-SQUID的SCPWR,并在极低温(mK)和低噪声环境下,测量了样品的传输特性.实验结果表明,嵌入1个和3个dc-SQUID的实验样品分别实现了60 MHz和187 MHz范围的谐振频率可调,实验数据与理论计算结果具有较好的一致性.

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