采用空心阴极离子束辅助多弧离子镀技术,通过变换靶材中Ti-Al比例(Al含量分别为30 at％、50 at％和70 at％)沉积了(Ti,Al)N涂层.利用XRD、激光共聚焦显微镜、材料表面微纳米力学测试系统等检测了涂层的质量和性能.研究了涂层的相组成、表面粗糙度、摩擦系数和硬度、以及涂层的耐高温性能等随靶材成分比例改变而变化的规律.结果表明,当靶材中Al含量为50 at％时,沉积层相组成以Ti1-xAlxN为主,涂层粗糙度和摩擦系数最小,分别为0.3188和0.6074,而硬度值最高,为34.19 GPa.加热温度低于800℃时涂层物相组成没有发生明显变化,900℃时涂层产生开裂基体被氧化;空心阴极离子束辅助沉积时能够形成“混合界面”,并减轻涂层表面“大颗粒”现象.
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