钛酸锶钡薄膜C-V曲线不对称现象研究

功能材料, 2005, 36(11): 1704-1708.

钛酸锶钡薄膜C-V曲线不对称现象研究

胡立业 ^1, , 杨传仁 ^2, , 符春林 ^3, , 陈宏伟 ^4,

1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

2.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

3.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

4.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

基金项目: 科技部科研项目

关键词：钛酸锶钡 , 薄膜 , C-V曲线 , 不对称 , 界面

The asymmetry of C-V curves of BaxSr1-xTiO3 thin films

采用射频(RF)磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了Ba0 6Sr0.4TiO3(BST)薄膜.通过研究BST薄膜的电容-偏压(C-V)特性曲线发现,溅射过程中的离子注入引起底电极/铁电薄膜界面处产生了过渡层,从而导致C-V曲线不对称.最后我们通过改进溅射工艺对这一机理进行了实验验证.

参考文献

[1]	Cho H J;Kwang C S .[J].Japanese Journal of Applied Physics,1997,36(7A):874-876.
[2]	Aggarwal S;Prakash A S;Song T K .[J].Integrated Ferroelectrics,1998,19:159-177.
[3]	赵莉,杨传仁,冷文建,陈宏伟,符春林,廖家轩,高志强.退火工艺对钛酸锶钡薄膜结构的影响[J].电子元件与材料,2004(10):17-19.
[4]	符春林,杨传仁,陈宏伟,胡文成,李文远.钛酸锶钡（BST）薄膜的制备与应用研究进展[J].电子元件与材料,2003(05):47-50.
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[6]	Wu Xiaoqing;Yang Yintang;Yao Xi et al.[J].Ferroelectrics,1996,8(02):1027-1030.
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[8]	Kim WonJeong;Kim Sang Su;Jang Kiwan et al.[J].Journal of Crystal Growth,2004,262(04):327-333.
[9]	Cho C R .[J].Materials Science and Engineering,1999,64(02):113-117.
[10]	符春林,杨传仁,陈宏伟.钛酸锶钡（BST）薄膜的组成、结构与性能研究进展[J].真空科学与技术学报,2003(04):255-263.

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