大尺寸电磁加热的氮化物MOCVD反应室温度场的仿真与优化

人工晶体学报, 2013, 42(11): 2401-2405.

大尺寸电磁加热的氮化物MOCVD反应室温度场的仿真与优化

李志明 ^1, , 江海鹰 ^2, , 李金屏 ^3, , 甘小冰 ^4, , 胡仕刚 ^5,

1.济南大学信息科学与工程学院,山东省网络环境智能计算技术重点实验室,济南250022

2.济南大学信息科学与工程学院,山东省网络环境智能计算技术重点实验室,济南250022

3.济南大学信息科学与工程学院,山东省网络环境智能计算技术重点实验室,济南250022

4.深圳大学管理学院,深圳518060

5.湖南科技大学信息与电气工程学院,湘潭411201

基金项目: 湖南省教育厅资助项目(12C0108) 国家自然科学基金(61376076)

关键词： MOCVD , 有限元 , 均匀性

Simulation and Optimization of Temperature Field for Large-scale Nitride MOCVD Reactor with Electromagnetic Heating

LI Zhi-ming ^1, , JIANG Hai-ying ^2, , LI Jin-ping ^3, , GAN Xiao-bing ^4, , HU Shi-gang ^5,

1.济南大学信息科学与工程学院,山东省网络环境智能计算技术重点实验室,济南250022

2.济南大学信息科学与工程学院,山东省网络环境智能计算技术重点实验室,济南250022

3.济南大学信息科学与工程学院,山东省网络环境智能计算技术重点实验室,济南250022

4.深圳大学管理学院,深圳518060

5.湖南科技大学信息与电气工程学院,湘潭411201

Keywords： MOCVD , finite element , uniformity

本文通过对电磁加热八英寸晶片的立式氮化物MOCVD反应室建立数学模型,利用有限元法,对传统的加热结构进行了优化.为提高晶片温度分布的均匀性,本文提出了矩形槽和圆环段形槽两种不同槽结构的基座,通过对这两种槽结构基座的优化分析发现,与传统用的基座相比,这两种槽结构的基座改变了传统基座中的传热方式和不同方向的传热速率,从而提高了晶片温度分布的均匀性,这有利于提高薄膜生长的质量.

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