陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池工艺

1.清华大学,北京,100084

2.清华大学深圳研究生院,深圳,518057

3.清华大学,北京,100084;清华大学深圳研究生院,深圳,518057

4.清华大学,北京,100084;清华大学深圳研究生院,深圳,518057

5.清华大学,北京,100084

6.北京市太阳能研究所,北京,100083

7.北京市太阳能研究所,北京,100083

基金项目: 北京市自然科学基金(2021001)

The Process of Polycrystalline Silicon Thin-Film Solar Cell with Ceramic Substrates

为了大幅度降低成本,真正实现太阳能电池的大规模应用,设计出一种新颖的薄膜电池,即在廉价的陶瓷衬底上沉积多晶硅薄膜制作的太阳电池.介绍了制作这一电池的完整工艺流程,摸索出合适的工艺参数,解决了在异质衬底上生长大晶粒多晶硅薄膜和表面电极引出的问题,实验取得了令人满意的结果.

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