对Fe+Cr改性多元氮化物薄膜, 即(TiFeCr)N多元膜的高温氧化行为进行了研究, 结果表明: (1) 这种多元膜在600℃以上温度下的氧化增重均低于TiN膜, 加热至600℃膜层仍保持良好的光泽, 加热至800℃膜层仍保持完整, 没有类似TiN膜的局部脱落现象, 说明这种多元膜具有优于TiN的抗高温氧化性能; (2) 600℃氧化1 h后, X射线衍射(XRD)谱上没有出现类似于TiN场合下出现的氧化铜的谱线, 说明这种多元膜可以有效地抑制铜基体的氧化, 具有优于TiN膜的保护性能.
参考文献
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