热处理温度对TbFe2/Fe交换耦合磁致伸缩多层膜的影响

功能材料, 2004, 35(3): 296-301.

热处理温度对TbFe2/Fe交换耦合磁致伸缩多层膜的影响

张万里 ^1, , 蒋洪川 ^2, , 张金平 ^3, , 彭斌 ^4, , 张文旭 ^5, , 杨仕清 ^6,

1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

2.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

3.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

4.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

5.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

6.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

基金项目: 国防预研基金(41312040503) 国家自然科学基金(50271014)

关键词：直流磁控溅射 , TbFe2/Fe磁致伸缩多层膜 , 交换耦合 , 磁致伸缩系数

The influence of annealing temperature on TbFe2/Fe exchange coupling magnetostrictive multilayers

采用直流磁控溅射在20mm×5mm×240μm抛光单晶硅片上制备了TbFe2/Fe磁致伸缩多层膜,主要研究了热处理温度对TbFe2/Fe磁致伸缩多层膜磁致伸缩系数的影响.采用量热分析法(DSC)、XPS以及光杠杆测试法对TbFe2/Fe磁致伸缩多层膜的晶化曲线、成分随深度的变化以及磁致伸缩系数进行了分析与测试.结果表明:TbFe2薄膜的起始晶化温度为327℃,晶化温度为372℃;TbFe2/Fe磁致伸缩多层膜的最佳热处理温度为327℃,在此热处理温度下热处理60min,外加磁场1.6×104A/m时,TbFe2/Fe磁致伸缩多层膜磁致伸缩系数可达1.56×10-4.采用XPS分析了一个周期的TbFe2/Fe成分随薄膜深度的变化,未经热处理的薄膜Fe层和TbFe2层之间界面清晰,两层之间有少量的扩散.经327℃热处理60min的薄膜Fe层和TbFe2层界面发生了互扩散,原子数之比也发生了改变.

参考文献

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