恒流法制备图案化的阳极氧化铝模板

功能材料, 2009, 40(2): 305-310.

恒流法制备图案化的阳极氧化铝模板

邵增军 ^1, , 彭智 ^2, , 宋国君 ^3, , 李晓茹 ^4, , 王树龙 ^5,

1.青岛大学,高分子材料研究所,山东,青岛,266071

2.青岛大学,高分子材料研究所,山东,青岛,266071

3.青岛大学,高分子材料研究所,山东,青岛,266071

4.青岛大学,高分子材料研究所,山东,青岛,266071

5.青岛大学,高分子材料研究所,山东,青岛,266071

基金项目: 国家自然科学基金(50473012)

关键词：紫外光 , 一维纳米结构 , 光刻胶 , 图案化模板

Preparation of patterned anodic aluminum oxide template by constant current density process

采用紫外线光刻技术在铝片上生成预设图案,用恒流二次氧化法在图案化的铝片上生长AAO,以此模板制备了PS和Cu纳米线阵列.采用扫描电子显微镜(SEM)分析.结果表明,制备的图案是直径5μm的圆形组成,圆形图案中·心之间距离是10μm,每个圆中生长了均匀的AAO,孔径大约为60～80nm.

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