CVD法SiC纤维沉积过程的正交试验研究

功能材料, 2011, 42(z1): 89-91.

1.西安工业大学,材料与化工学院,陕西,西安,710032

2.西北工业大学,材料学院,陕西,西安,710072

3.中国石油集团石油管工程技术研究院,陕西,西安,710065

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(50871086)

Research on orthogonal experiment for CVD deposition process of SiC filament

采用正交设计方法对CVD法制备SiC纤维的工艺过程进行了分析和研究.在CVD法SiC纤维沉积过程中,主要考虑了5种工艺因素和4个水平,计算了不同工艺因素务件下的方差,分析了各自影响的显著性.找出影响SiC纤维抗拉强度工艺因素的主次顺序,并讨论了主要工艺因素对沉积过程的影响机理.

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