单管体硅,SOI及DSOI MOSFET热分析

工程热物理学报 , 2002, 23(4): 461-463.

1.清华大学工程力学系,北京,100084

2.清华大学工程力学系,北京,100084

基金项目: 国家自然科学基金(59995550-1)

THERMAL ANALYSIS OF SINGLE BULK-Si,SOI AND DSOI MOSFET

本文简单介绍了SOI和DSOI半导体器件制造技术,并提出了单管体硅,SOI及DSOI MOSFET的热阻模型.进而对体硅,SOI MOSFET器件,特别是DSOI MOSFET的热学特性进行数值计算,比较并分析了其数值计算结果.

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