玻璃上低温沉积碳纳米管薄膜及其场发射研究

功能材料与器件学报 , 2013, 19(2): 69-72.

玻璃上低温沉积碳纳米管薄膜及其场发射研究

高金海 ^1, , 李桢 ^2, , 张武勤 ^3, , 张兵临 ^4,

1.郑州师范学院物理系,河南郑州,450044;郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南郑州450052

2.郑州师范学院物理系,河南郑州,450044

3.郑州师范学院物理系,河南郑州,450044

4.郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南郑州450052

基金项目: 河南省高等学校青年骨干教师资助计划项目(教高[2011]550号) 教育部科学技术重点资助项目(205091)

关键词：微波等离子体化学气相沉积 , 碳纳米管 , 场致电子发射

The carbon nanotube films study growth mechanism on glass and field emission properties

Gao Jin-hai ^1, , Li Zhen ^2, , Zhang Wu-Qin ^3, , Zhang Bin-lin ^4,

1.郑州师范学院物理系,河南郑州,450044;郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南郑州450052

2.郑州师范学院物理系,河南郑州,450044

3.郑州师范学院物理系,河南郑州,450044

4.郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南郑州450052

Keywords： The carbon nanotube films , Field emission , Chemical vapor deposition

本文从事的研究是碳纳米管(CNT)薄膜的制备及场发射效果分析.在普通玻璃衬底上用磁控溅射方法镀上金属钛层,用含铁杂质的碳化硅微粒对钛层进行抛光.利用微波等离子体化学气相沉积法,在小于500℃衬底温度下快速制备出CNT膜.通过扫描电子显微镜、拉曼光谱,分析了薄膜的表面形貌和结构特性.通过二级管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,对于制备的碳膜,在电场？时,最大场发射电流密度达？.并对其发射机理进行了研究.

参考文献

[1]	倪永红,葛学武,徐相凌,陈家富,张志成.纳米材料制备研究的若干新进展[J].无机材料学报,2000(01):9-15.
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[4]	Li WZ;Zhang H;Wang CY;Zhang Y;Xu LW;Zhu K;Xie SS .Raman characterization of aligned carbon nanotubes produced by thermal decomposition of hydrocarbon vapor[J].Applied physics letters,1997(20):2684-2686.
[5]	Silvia Picozzi;Claude Ederer .First principles studies of multiferroic materials[J].Journal of Physics. Condensed Matter,2009(30):303201-18.

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