AIN薄膜的成分、相结构和氧化性能

材料研究学报, 1995, 9(4): 361-363.

AIN薄膜的成分、相结构和氧化性能

夏立芳 , 王佐诚 , 孙跃 , 马欣新 , 陈士芳

哈尔滨工业大学

关键词： AIN薄膜 , null

ON THE COMPOSITION, PHASE STRUCTURE AND OXIDIZED PROPERTY OF AIN FILMS

XIA Lifang , WANG Zuochen , SUN Yue , MA Xinxin , CHEN Shifang(Harbin Institute of Technology)

Keywords： :AIN film oxidized property thermodynamics , 氧化

用X射线光电子能谱(XPS)剥层分析方法,研究AIN薄膜在大气中加热时的氧化性能.结果表明,常温时AIN薄膜稳定;在700℃加热时,Al2O3膜开始增厚.AIN被氧化;加热温度愈高,AIN被氧化得愈剧烈.

The composition, phase structure and oxidized property of AIN films heated in atmosphere at different temperature have been investigated with X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) in this paper.The results showed that about 60nm thick of Al2O3 film on the

参考文献

[1]	Perkin—ElmerCorporation,HandbookofX—rayPhotoelectronSpectroscopy,1978:102徐祖耀,金属材料热力学．北京:科学出版社,1983:2913吉林工业大学,物理化学．北京:机械工业出版社,1980:388—343

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ON THE COMPOSITION, PHASE STRUCTURE AND OXIDIZED PROPERTY OF AIN FILMS

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