离子镀厚金膜过渡层的研究

1.西北有色金属研究院,

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Study of Au-Thick Film Transition Coating by Ion Plating

通过对电弧离子镀厚金膜工艺过渡层的深入研究,得出了采用离子轰击清洗、Ni-Cu过渡层和镀膜室内热处理是离子镀厚金膜的工艺路线,通过一次装炉实现了制备Ni-Cu过渡层、沉积金膜、热处理和金膜增厚等工序一次完成.经过现场实验,摩擦副的往复运动次数在运动速度2.5 m/s时超过120次,完全满足要求.

[1]	田民波.薄膜科学与技术手册[M].北京:机械工业出版社,1991:1.
[2]	杨建宏.多弧离子镀TiN装饰膜表面颗粒研究[J].真空,1995(01):20.
[3]	李争显 .[J].中国有色金属学报,1998,3(03):263-266.
[4]	周玉福.Au-TiN复合镀层的研究[J].电镀与精饰,1996(02):16.
[5]	刘革.真空离子镀金靶材的镶嵌复合工艺与靶型的研制[J].真空,1996(04):44.

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