加热单元是催化燃烧式传感器的重要元件,由氧化铝基板和以磁控溅射方法镀覆其表面的铂片组成.当电流通过时,铂片发热,形成温度场.由于温度分布不均匀,铂片和基板会产生变形并导致热应力的产生,这必然会影响到传感器的工作.为考察这种影响,本文采用有限元法对这一过程进行了热力耦合分析,得到了温度场和应力应变场.结果表明,传感器表面受到拉应力,在工作温度下,拉应力小于材料的屈服强度,传感器可以正常工作.
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