在３１６Ｌ不锈钢片表面上用离子束辅助沉积（ＩＢＡＤ）和溅射沉积加上离子注入方法制备Ｓｉ－Ｃ薄膜, 测量氚通过钢片的渗透率, 并用ＸＰＳ, ＡＥＳ, ＸＲＤ及ＴＥＭ等分析薄膜的成分和结构, 结果表明, 改性膜使不锈钢的氚渗透降低近５个数量级, 随着制备条件的汪同, 膜中的Ｃ／Ｓｉ原子比不同, 用双靶（Ｓｉ, Ｃ）加Ｃ离子轰击的ＩＢＡＤ方法可得到的较高的Ｃ／Ｓｉ比.
参考文献
| [1] | |
| [2] | |
| [3] | |
| [4] | |
| [5] | |
| [6] | |
| [7] | |
| [8] |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%