自润滑Cr/C复合镀层的制备和机械性能研究

功能材料, 2010, 41(7): 1150-1157.

自润滑Cr/C复合镀层的制备和机械性能研究

贾贵西 ^1, , 李言 ^2, , 李洪涛 ^3, , 胡鹏飞 ^4, , 张翔 ^5, , 蒋百灵 ^6,

1.西安理工大学,机械与精密仪器工程学院,陕西,西安,710048

2.西安理工大学,机械与精密仪器工程学院,陕西,西安,710048

3.西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048

4.西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048

5.西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048

6.西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2005AA33H010)

关键词：磁控溅射 , 溅射工艺参数 , Cr/C自润滑镀层 , 机械性能

Study on mechanical properties and preparation of self-lubricating Cr/C composite coatings

采用闭合场非平衡磁控溅射技术,固定碳靶电流参数,调节铬靶电流参数,在GCr15轴承钢球、45#钢和单晶硅基体上制备出自润滑Cr/C复合镀层.用XRD对镀层相结构进行分析,测试了镀层的摩擦系数、磨损率、结合强度、硬度和韧性,用光学显微镜观察镀层磨损形貌.结果表明,镀层相结构为非晶态,随铬靶电流变大逐渐向晶态转变;与未镀层的基体相比,镀层有良好的摩擦磨损性能和载荷承载能力;镀层随铬靶电流增加,硬度逐渐降低,韧性逐渐提高.所获铬电流为0.1和0.3A镀层有很好的自润滑性能,且后者有良好的综合机械性能.

参考文献

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