多晶硅薄膜太阳能电池硅基复合陶瓷衬底的设计与制备

稀有金属材料与工程, 2005, 34(z2): 865-867.

多晶硅薄膜太阳能电池硅基复合陶瓷衬底的设计与制备

李海峰 ^1, , 黄勇 ^2, , 万之坚 ^3, , 张厚兴 ^4, , 张立明 ^5, , 许颖 ^6, , 王文静 ^7,

1.清华大学深圳研究生院,深圳,510855;清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

2.清华大学深圳研究生院,深圳,510855;清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

3.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

4.清华大学深圳研究生院,深圳,510855

5.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

6.北京市太阳能研究所,北京,100083

7.北京市太阳能研究所,北京,100083

基金项目: 北京市自然科学基金(2021001)

关键词：陶瓷衬底 , 复合陶瓷设计 , 薄膜电池

The Design and Preparation of Ceramic Complex Substrate for Polycrystalline Silicon Thin-Film Solar Cell

采用复合陶瓷设计的概念,设计多晶硅薄膜太阳能电池用Si,SiC,C的复合陶瓷衬底.在气氛保护烧结炉中烧成,得到的复合陶瓷衬底和Si具有较好的热力学和晶体学匹配性,可以有效的避免在RTCVD工艺下高温沉积和冷却过程中出现的开裂现象,并能得到质量较好的多晶硅薄膜.同时,通过恰当设计Si,SiC和C各组分间的比例,还可以制备具有良好导电性能的陶瓷衬底,这对陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池的制备也有重要的意义.

参考文献

[1]	赵富鑫.太阳电池及其应用[M].北京:国防工业出版社,1985
[2]	姚连增.晶体生长基础[M].合肥:中国科学技术大学出版社,1995
[3]	Keitz AVon.8th Workshop on Crystalline Silicon Solar Cell Materials andProcesses[C].Colorado: NREL,1998:221.
[4]	李海峰 .[J].稀有金属材料与工程,2003,32(zk):537.
[5]	Bergmann R B.14th European PV Solar Energy Conference[C].Barcelona: Solar Electricity Action SOLAREC,1997:1464.
[6]	Keitz A Von.2nd World Conference on PV Solar Energy Conversion[C], Vienna, Australia: European Commission,Directorate General Joint Research Center[C].Vienna,Australia: European Commission,Directorate General Joint Research Center,1998:1829.
[7]	万之坚等.[J].稀有金属材料与工程,2003,32(zk):525.

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