射频磁控溅射法制备TiO2薄膜的拉曼光谱

材料导报, 2006, 20(z1): 89-90.

1.五邑大学数理系,江门,529020

2.暨南大学物理系,广州,510632

3.五邑大学数理系,江门,529020

基金项目: 国家自然科学基金(20171018)

Raman Spectroscopy of Titania Thin Films by RF Magnetron Sputtering

采用射频磁控溅射法制备了纳米TiO2薄膜,并应用显微拉曼光谱和原子力显微镜对薄膜进行了检测.通过拉曼光谱研究,一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构,另一方面对薄膜的生长方式提供了线索.

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