在Si衬底上用电化学沉积方法制备了Mn掺杂ZnO纳米晶,X射线衍射(XRD)的研究表明,Mn离子取代Zn离子进入到ZnO晶格中.场发射扫描电子显微镜(SEM)图像显示,ZnO纳米晶形貌是柱状的.从光致发光谱可以看出,由于掺杂效应导致可见发射带扩大,PL谱从122.8 K到302.2 K范围的拟合结果表明,Mn掺杂导致激子结合能的降低.
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