热丝碳化促进CVD金刚石成核增强的物理机制

功能材料, 2002, 33(1): 46-48.

1.浙江大学物理系,浙江,杭州,310028

2.浙江大学物理系,浙江,杭州,310028

3.浙江大学中心实验室,浙江,杭州,310028

4.浙江大学物理系,浙江,杭州,310028

5.浙江大学中心实验室,浙江,杭州,310028

基金项目: 浙江省自然科学基金 (596030)

Mechanism of diamond nucleation enhancement by filament carburization in HFCVD process

采用扫描电镜、X射线衍射及喇曼光谱等手段研究了HFCVD过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响.热丝经充分碳化后能发射出更多热电子,进而从反应气体中激发出更多原子H和CH3+.使金刚石晶核的孕育期大为缩短,3min内即可在未经表面预处理的Si衬底上获得1010cm-2以上的高晶核密度.

[1]	张文广,夏义本,居建华,王林军.偏压对金刚石薄膜选择性成核和生长影响的研究[J].功能材料,2000(05):510-512.
[2]	姚连增.晶体生长基础[M].合肥:中国科学技术大学出版社,1995:158.
[3]	Lin Z D;ChenY;Chen Q J .[J].中国物理快报（英文版）,2001,18(03):753.
[4]	Tsutsumoto T .[J].Thin Solid Films,1998,317:371.
[5]	ParkBS;BaikYJ .[J].Diamond and Related Materials,1997,6:1716.
[6]	邱东江.影响HFCVD金刚石晶核孕育期的几种因素[J].浙江大学学报（理学版）,2000(03):270.
[7]	Okoli S;Haubner R;Lux B .[J].Surface and Coatings Technology,1991,47:585.
[8]	邱东江;顾智企;吴惠桢 .[J].真空科学与技术学报,2000,20:229.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分