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运用sol-gel技术制备了(Pb,La,Ca)TiO3(简写为PLCT)铁电薄膜;利用XRD、SEM、AFM和EDAX分析了PLCT薄膜的结构、表面形貌和组分.XRD衍射结果表明,PLCT薄膜呈钙钛矿结构.随着退火时间的增加,PLCT薄膜的XRD衍射峰的强度也随之增加.SEM、AFM分析表明,PLCT铁电薄膜表面平整、致密、无裂缝.EDAX分析表明,PLCT薄膜的实际组分十分接近设计组分.利用PFM分析了PLCT薄膜的电畴结构,发现随着退火时间的增加,PLCT薄膜的电畴由细小圆点状逐渐增大并形成片状电畴.

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