不同制备工艺对ZnS光学性能的影响

稀有金属材料与工程, 2005, 34(z2): 1066-1069.

不同制备工艺对ZnS光学性能的影响

方珍意 ^1, , 潘伟 ^2, , 祝海峰 ^3, , 张力强 ^4, , 肖红涛 ^5, , 李子涛 ^6,

1.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

2.清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

3.中非人工晶体研究院,北京,100018

4.中非人工晶体研究院,北京,100018

5.中非人工晶体研究院,北京,100018

6.中非人工晶体研究院,北京,100018

关键词： ZnS , 真空热压 , 化学气相沉积 , H2S模式 , S模式

The Optical Properties of ZnS Dependent on Different Fabricating Process

分别用真空热压、H2S模式的化学气相沉积以及S模式的化学气相沉积3种工艺方法制备了红外透过性能良好的ZnS材料.比较了不同的工艺过程对ZnS显微结构的影响,并且分析了不同制备方法形成的缺陷对光学性能的影响.探讨了热等静压工艺改善光学性能的原因和机理.透过谱图的测试表明,S模式的化学气相沉积法制备的ZnS具有最高的可见光至远红外的透过率.对3种方法制备的ZnS分别进行了热等静压后处理,发现对材料的光学透过性能都有不同程度的提高.

参考文献

[1]	Daniel C Harris .[J].Infrared Physics & Technology,1998,39:185.
[2]	Daniel C Harris .[J].Proceedings of SPIE,1995,2552(01):325.
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