扫描热显微镜测量机理的研究

工程热物理学报 , 2002, 23(5): 611-613.

1.清华大学工程力学系,北京,100084

2.清华大学工程力学系,北京,100084

3.清华大学工程力学系,北京,100084

基金项目: 国家自然科学基金(59995550-1)

STUDY OF THE MEASUREMENT MECHANISMS OF SCANNING THERMAL MICROSCOPE

从理论上分析了扫描热显微镜的传热过程和测量原理,建立了两种工作模式下的热阻网络模型,并对热阻网络中各热阻进行了具体分析,得出了样品本身热阻的表达式;用多种参考材料样品进行了系列实验,结果表明仪器的输出信号与热导率的倒数成线性关系,对理论分析作出了部分验证,为亚微米尺度的热导率测试打下了基础.

[1]	G B M Fiege;L J Balk.Scanning Thermal Microscope (SThM): A Tool for the Investigation of Thermal Prop erties and Temperature Distributions in the Nanometer Range[A].,1998:211.
[2]	顾毓沁,晋宏师,孙晓毅,陈皓明,谢志刚.用扫描热显微镜测量微小区域热导性质的探讨[J].工程热物理学报,2000(04):456-460.
[3]	K Luo;Z Shi et al.Sensor Nanofabrication,Performance and Mechanisms in Scanning Thermal Microscopy[J].Journal of Vacuum Science and Technology B:Microelectronics and Nanometer Structures,1997,15(02):349.
[4]	王补宣.工程传热传质学[M].北京:科学出版社,1982

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