采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)制备的高纯、高度[100]取向金刚石薄膜作为敏感材料,制作出具有简单的金属/金刚石薄膜/Si三明治结构的原型X光辐射剂量计;用稳态X光源测试其光电响应,结果表明,在8kV/cm的偏压条件下,剂量计对X光辐射有明显的输出电流信号响应,并且其大小与入射X光强度间存在良好的线性关系,说明这种剂量计可以用于剂量的定量检测;但输出电流信号在开始测量后近20min时间内一直持续增大,反映出器件工作时所需的稳定时间长,响应速度慢,将影响其在实时监测上的应用,需进一步改进.
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