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利用国产六面顶压机,对AlN(Y203)陶瓷进行了高压(5.0 GPa)热处理,对高压热处理AlN陶瓷的宏观动力学进行了研究.结果表明:超高压热处理时,温度越高、热处理时间越长,AlN晶粒粒径越大,晶体结构越完整.动力学分析表明,在热处理温度范围内(970 ~1210℃),AlN晶体生长动力学指数为3,晶体生长激活能为(50.6±9.6) kJ/mol.高压热处理时,AlN试样内部物质迁移的主要机制是压力强化的体积扩散.

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