利用阴极弧沉积的方法在201不锈钢基体上制备了TiN薄膜,研究了阴极弧径向不同位置大颗粒、膜厚以及膜层性能的分布规律.分别采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了膜层的相结构、膜层的表面形貌和截面形貌.研究了镀膜试样和基体在3.5%(质量分数)NaCl溶液中的腐蚀行为,并利用电化学方法分析其抗腐蚀性能,并采用球-盘式摩擦磨损、划痕测试以及微小压痕等方法测试了径向不同位置沉积的TiN薄膜摩擦磨损性能、膜基结合力以及硬度.结果表明,靠近靶材中心的位置,膜层的硬度、厚度最大,电化学腐蚀电位最高,在径向夹角20°处的膜层厚度、硬度最小.在靠近出气位置侧沉积的TiN薄膜大颗粒数目较多,造成表面缺陷增加,TiN薄膜的抗腐蚀性能下降.靠近弧源中心位置沉积的膜层摩擦磨损系数较大,两侧处的膜层摩擦系数较小,膜基结合力与表面形貌和膜层厚度有很大关系.
参考文献
| [1] | 刘天伟,鲜晓斌,武胜,董闯.不同偏压下铀表面多弧离子镀TiN薄膜性能研究[J].稀有金属材料与工程,2006(09):1437-1440. |
| [2] | 黄元林,马世宁,李长春,李新.铝合金Ti（C,N）/TiN多元多层膜与阳极氧化膜性能比较[J].材料工程,2004(05):23-25,29. |
| [3] | Hsu C H;Chen M L;Lai K L .[J].Materials Science and Engineering A:Structural Materials Properties Microstructure and Processing,2006,421(1-2):182. |
| [4] | 史新伟,李春明,邱万起,刘正义.Cr对多弧离子镀TiN及其复合膜（Ti,Cr）N性能的影响[J].中国有色金属学报,2006(07):1227-1232. |
| [5] | 徐向荣,黄拿灿,卢国辉,杨少敏.电弧离子镀（Ti,Cr）N涂层的制备与性能研究[J].金属热处理,2005(07):40-43. |
| [6] | 陈朝平,朱昌,郭芮.增强型脉冲离子源镀制DLC薄膜拉曼光谱研究[J].真空科学与技术学报,2006(03):228-231. |
| [7] | Daalder J E .[J].Journal of Physics D:Applied Physics,1976,9(16):2379. |
| [8] | Tay BK;Zhao ZW;Chua DHC .Review of metal oxide films deposited by filtered cathodic vacuum arc technique[J].Materials Science & Engineering, R. Reports: A Review Journal,2006(1/3):1-48. |
| [9] | Poirier D M;Lindfors P A .[J].Journal of Vacuum Science and Technology A:Vacuum Surfaces and Films,1991,9(02):278. |
| [10] | Vershinin N.;Gust W.;Straumal B. .VACUUM ARC DEPOSITION OF MO FILMS[J].Journal of Vacuum Science & Technology, A. Vacuum, Surfaces, and Films,1996(6):3252-3255. |
| [11] | Fuchs H.;Ellrodt M.;Mecke H. .Distribution of ion current density in a modified pulse arc process as a function of pulse parameters[J].Surface & Coatings Technology,1998(1/3):839-844. |
| [12] | Tuma DT;Chen C L;Davies D K .[J].Journal of Applied Physics,1978,49(07):3821. |
| [13] | 弥谦,蔡长龙,马卫红,严一心.脉冲真空放电离子密度的测量[J].真空,2006(01):43-46. |
| [14] | Fuchs H.;Hettkamp E.;Mecke H.;Schultz J.;Engers B. .Deposition rate and thickness uniformity of thin films deposited by a pulsed cathodic arc process[J].Surface & Coatings Technology,2001(0):655-660. |
| [15] | Y.M. Chen;G.P. Yu;J.H. Huang .Pinhole Enlargement During Electrochemical Porosity Measurement[J].Corrosion: The Journal of Science and Engineering,2002(10):846-848. |
| [16] | Chen YM.;Yu GP.;Huang JH. .Comparison of electrochemical porosity test methods for TiN-coated stainless steel[J].Surface & Coatings Technology,2002(2/3):309-318. |
| [17] | Arata Y;Ohmori A;Li C J .[J].Thin Solid Films,1988,156:315. |
| [18] | Chen B F;Pan W L;Yu G P et al.[J].Surface and Coatings Technology,1999,111(01):16. |
| [19] | 史新伟,李杏瑞,邱万起,刘正义.电弧离子镀TiN及其复合膜的腐蚀机理探讨[J].真空科学与技术学报,2006(04):330-334. |
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