Ce掺杂Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜表面结构XPS研究

稀有金属材料与工程, 2009, 38(11): 1987-1991.

Ce掺杂Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜表面结构XPS研究

廖家轩 ^1, , 潘笑风 ^2, , 王洪全 ^3, , 张佳 ^4, , 傅向军 ^5, , 田忠 ^6,

1.电子科技大学,四川,成都,610054

2.电子科技大学,四川,成都,610054

3.电子科技大学,四川,成都,610054

4.电子科技大学,四川,成都,610054

5.电子科技大学,四川,成都,610054

6.电子科技大学,四川,成都,610054

基金项目: 四川省应用基础研究项目(2008JY0057) 电子科技大学中青年学术带头人培养计划项目(Y02018023601053) 博士点基金项目(20060614021) 国防预研基金项目(9140A10030606)

关键词：铈掺杂 , 钛酸锶钡薄膜 , 钙钛矿结构 , 介电性能

Surface Structures of Ce-Doped Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3 Films by X-Ray Photoelectron Spectroscopy

Liao Jiaxuan ^1, , Pan Xiaofeng ^2, , Wang Hongquan ^3, , Zhang Jia ^4, , Fu Xiangjun ^5, , Tian Zhong ^6,

1.电子科技大学,四川,成都,610054

2.电子科技大学,四川,成都,610054

3.电子科技大学,四川,成都,610054

4.电子科技大学,四川,成都,610054

5.电子科技大学,四川,成都,610054

6.电子科技大学,四川,成都,610054

Keywords： cerium doping , barium strontium titanate film , perovskited structure , dielectric properties

用改进的溶胶-凝胶法制备铈(Ce)掺杂和非掺杂2种钛酸铝钡(Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3,BST)薄膜,用X射线光电子能谱(XPS)研究薄膜的表面结构.XPS结果表明,BST薄膜的表面结构由钙钛矿结构和非钙钛矿结构组成,铈掺杂显著地减少了非钙钛矿结构.扫描电镜及原子力显微镜观察表明,掺杂BST薄膜光滑致密无裂纹.电压-电容曲线表明,掺杂BST薄膜的介电性能大幅度提高,在40V外加电压下介电调谐率达60.8%,零偏压下的介电损耗为0.0265.同时,就非钙钛矿结构的成因及Ce掺杂BST薄膜的有关改善机制进行了讨论.

参考文献

[1]	Yuan Z;Lin Y;Weaver J et al.[J].Applied Physics Letters,2005,87(152 901):1.
[2]	Wang S;Cheng B;Wang C et al.[J].Journal of Applied Physics,2006,99(013 504):1.
[3]	廖家轩,李恩求,田忠,许江,杨海光.中频磁控溅射钛酸锶钡薄膜的结构及性能[J].稀有金属材料与工程,2007(z1):970-972.
[4]	Basu S;Verma A;Agrawal D et al.[J].Journal of Electroceramics,2007,19(2-3):229.
[5]	Kim K;Kim C .[J].Surface and Coatings Technology,2006,200(16-17):4708.
[6]	李恩求;廖家轩 .[J].电子科技大学学报,2008,37(Suppl):44.
[7]	王喆垚,刘建设,任天令,刘理天,李志坚.硅基衬底Ba0.5Sr0.5TiO3厚膜制备的Sol-gel新方法[J].半导体学报,2002(08):830-834.
[8]	Kil D;Lee B;Joo S .[J].Thin Solid Films,1999,343-344:453.
[9]	Liao J;Yang C;Tian Z et al.[J].Journal of Physics D:Applied Physics,2006,39:2473.
[10]	V. Craciun;R. K. Singh .Characteristics of the surface layer of barium strontium titanate thin films deposited by laser ablation[J].Applied physics letters,2000(14):1932-1934.
[11]	Fujisaki Y;Shimamoto Y;Matsui Y .[J].Japanese Journal of Applied Physics,1999,38:L52.
[12]	Zhou C;Newns D .[J].Journal of Applied Physics,1997,82(3081):1.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网