低温制备防潮耐真空污染二氧化硅减反膜

低温物理学报 , 2016, 38(2): 135-138.

低温制备防潮耐真空污染二氧化硅减反膜

牛彦彦 ^1, , 姚兰芳 ^2, , 王晓栋 ^3, , 田冰涛 ^4, , 沈军 ^5,

1.上海理工大学理学院,上海,200093

2.上海理工大学理学院,上海,200093

3.上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,同济大学物理科学与工程学院,上海200092

4.上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,同济大学物理科学与工程学院,上海200092

5.上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,同济大学物理科学与工程学院,上海200092

基金项目: 上海市教育发展基金会和上海市教育委员会“晨光计划”(批准号:14CG19).Project supprted by the Young Scientists Fund of the National Natural Science Foundation of China (Grant No.11304228)and the Hujiang Foundation of China (Grant No.B14004) "Chenguang Program"supported by Shanghai Education Development Foundation and Shanghai Municipal Fducation Commission(Grant No.14CG19). 国家自然科学基金青年基金(批准号:11304228),沪江基金(批准号:B14004)资助的课题

关键词：溶胶-凝胶 , 减反膜 , 光学稳定性

PREPARATION OF MOISTURE PROOF AND VACUUM CONTAINMINATION RESISTANCE SILICA ANTIREFLECTIVE COATING AT LOW TEMPERATURE

Keywords： Sol-gel , antireflective coating , optical stability

采用溶胶-凝胶法,以正硅酸乙酯为前驱体,氨水为催化剂,通过六甲基二硅氮烷(HMDS)对溶胶改性,使用提拉法镀膜,并经过低温热处理制备了具有良好防潮抗真空性能的SiO2减反膜.对薄膜的防潮性能、水接触角、真空抗污染能力、结构等进行了测试表征.结果表明:掺HMDS的溶胶制备的二氧化硅膜层峰值透过率为99.7％;水接触角可达154°;在相对湿度大于90％的环境中保存7天和在二甲基硅油作为污染源的真空环境中放置30天,透过率仅分别下降0.05％和0.35％,防潮耐真空稳定性较未改性薄膜都得到极大提高.

参考文献

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网