网状阴极辉光放电法在钛合金表面渗镀Ta的应用

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基金项目: 山西省自然科学基金(20001043)

Application of Net - shape Cathode Glow Discharging on the Surface of Titanium Alloy by Tantalizing

设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的耐蚀性,是一种高耐蚀合金.

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