碳酸钡和碳酸锶是无机盐化工基础原料,钡、锶的醇盐或醋酸盐都需通过其碳酸盐制备而得,本文探索了一种有利于降低成本的新实验路线和更为原子经济的新工艺.直接采用碳酸盐为原料,采用solgel法制备了Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜;并利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱分析(XPS)等对BST薄膜的晶体结构和表面形貌及化学组态进行了分析.结果表明,利用碳酸盐代替醋酸盐为原料,采用so1-gel技术制备BST铁电薄膜,能制备出均匀清澈的溶胶;所制备的BST薄膜均匀致密,几乎为全钙钛矿结构.化学组态分析也表明所制备的薄膜中的钡、锶、钛、氧4种元素都以钙钛矿相结构中各元素相应的化学态存在.
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